ICS 31. 200 L 55　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 28275—2012　　硅基 MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范　　Silicon-basedMEMS fabrication technology—　　Specification forKOH etch process　　2012-05-11发布 2012-12-01实施　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会　　　　发　　　　布　　中 华 人...

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