硅基厚金属膜电镀工艺技术规范(T/CI 512-2024)详细总结1. 标准概述T/CI 512-2024《硅基厚金属膜电镀工艺技术规范》是由清华大学提出，中国国际科技促进会归口的团体标准。该标准规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力、保障条件、材料、安全与环境操作、检验等技术要求，确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序。 2. 适用范围本文件适用于硅基MEMS制造技术中厚金属膜多层布线的电镀加工，特...

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