JB∕T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991 ...

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