360book 首页 > 行业标准 > 有色行业标准 > 正文 返回 

YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法  下载

360book.com  2000-02-25 22:10:04  下载

本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。 ...

上一篇:YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法
下一篇:YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法