本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。 ...

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