电子探针显微分析(ElectronProbeMicroanalysis,EPMA)是利用高能电子束与固体样品相互作用,在样品的微米尺度上激发出特征X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等信号,通过这些信号进行成分、形貌、结构等显微分析。电子探针显微分析包括成分、形貌、结构等显微分析,其中成分分析包括定性分析和定量分析,电子探针定量分析的基本原理是通过测量、比较未知样品和已知元素含量的标准...

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