超高真空 作 者: 崔遂先,王荣宗 著出版时间: 2013丛编项: 真空科学技术丛书内容简介 《真空科学技术丛书:超高真空》共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式,各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵,超高真空阀门、挡板等元部件,超高真空测量,超高真空系统设计及维护运转。《真空科学技术丛书:超高真空》可供从事超高真空技术工作的专业技术人员、操作人员使用,亦可作为大专院校师生的参考书。目录第1章 超高真空技术概述1.1 气体分子热运动速度1.2 气体分子的平均自由程λ1.3 气体分子碰撞次数1.3.1 气体分子之间(或电子与气体分子间)的碰撞次数1.3.2 分子与器壁碰撞数(碰撞频度)1.4 气体压力1.5 表面形成单分子层的时间1.6 气体分子在材料表面的吸附1.6.1 物理吸附速率方程1.6.2 化学吸附速率方程1.7 脱附速率1.7.1 一级脱附速率1.7.2 二级脱附速率1.8 吸附等温线(平衡状态下吸附量)第2章 超高真空泵2.1 超高真空油扩散泵2.1.1 超高真空油扩散泵的极限压力2.1.2 泵的返油率2.1.3 挡油帽2.1.4 挡板2.1.5 冷阱2.1.6 气体的反扩散2.1.7 扩散泵油2.1.8 扩散泵油分馏装置2.1.9 扩散泵的抽气速率2.1.10 扩散泵临界前级压力2.1.11 扩散泵的加热功率2.1.12 扩散泵的不稳定性2.2 涡轮分子泵2.2.1 涡轮分子泵的结构、抽气原理2.2.2 分子泵的抽速和压缩比2.2.3 涡轮分子泵极限压力2.2.4 涡轮分子泵轴承及动平衡2.2.5 涡轮分子泵操作与运转 上一篇: 互换性与技术测量 [李伟,肖华著] 2012年 下一篇: 工程机械维修识图及实例详解:机械图·液压图·电路图