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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

  • 英文名称:The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
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资料介绍

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
  本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω
296092829
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