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GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
- 英文名称:Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
- 下载地址:[下载地址1]
- 提 取 码:jlpy
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资料介绍
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×10ˇ13 cmˇ-3~500×10ˇ13 cmˇ-3。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×10ˇ13 cmˇ-3~500×10ˇ13 cmˇ-3。
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