您当前的位置：首页 > YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 > 下载地址1
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
- 英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
- 下载地址：[下载地址1]
- 提 取 码：x5ya
- 浏览次数：3
发表评论 加入收藏夹 错误报告目录| 新闻评论（共有 0 条评论） |
资料介绍
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。 本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
下一篇: YS/T 13-2015 高纯四氯化锗
上一篇: YS/T 298-2015 高钛渣
