GB∕T 21287-2021 电子特气 三氟化氮本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。标准号：GB/T 21287-2021标准名称： 电子特气　三氟化氮英文名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride替代标准：GB/T 21287-2007引用标准：GB 190 G...