GB∕T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。本文件适用于微机电技术领域。标准号：GB/T 2900.104-2021标准名称： 电工术语　微机电装置英文名称：Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices采用标准：IEC 60050-523:2018采标名称：《国际电工词汇　第523部分:...