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GB/T 30839.46-2015 工业电热装置能耗分等 第46部分:单晶炉  下载

360book.com  2019-01-29 17:53:18  下载

GB/T 30839的本部分规定了单晶炉能耗等级指标和计算方法。本部分适用于直拉式单晶炉和区熔式硅单晶炉。 ...