标 准 编 号：GB/T 6616-2009简体中文标题：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法繁体中文标题：半导体矽片电阻率及矽薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法English name ：Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge标准简介：本标准规定了用非接触涡流测定半导体硅片电阻...
