标准编号：GB/T 16943-2009 简体名称：电子工业用气体 氦 繁体名称：电子工业用气体 氦 英文名称：Gas for electronic industry—Helium标准简介：本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。 ...

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