标准编号：GB/T 16942-2009 简体名称：电子工业用气体 氢 繁体名称：电子工业用气体 氢 英文名称：Gas for electronic industry—Hydrogen标准简介：本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 ...

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