ICS 29 . 045 H 80　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 6621—2009代替 GB/T 6621—1995　　硅片表面平整度测试方法　　Testing methodsforsurface flatnessofsilicon slices　　2009-10-30 发布 2010-06-01 实施　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会　　　　发　　　　布　　GB/T 6621—2009　　前 言...