ICS 29 . 045 H 80　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 4058—2009代替 GB/T 4058—1995　　硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法　　Testmethod fordetection ofoxidation induceddefectsin　　polished silicon wafers　　2009-10-30 发布 2010-06-01 实施　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会　　　　发　　　...