ICS 77. 040 CCS H 21　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 43313—2023　　碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试　　共焦点微分干涉法　　Testmethod forsurfacequality and micropipedensity ofpolished silicon　　carbidewafers—Confocalanddifferentialinterferometry optics　　2023-11-27发布 2024-06-01实施　　国家市场监督管理总局国家标准化...