本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。标准号:GB/T 42191-2023标准名称:MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法英文名称:Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device发布日期:2023-05-23实施日期:2023-09-01引用标准:GB/T 2423.1-2008 GB/T 2423.2-2008 GB/T 2423.5 GB/T 2423....