本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCl 3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。替代GB/T 30652-2014 ...