现代机电一体化技术丛书 微机电系统及工程应用作者： 莫锦秋，梁庆华，王石刚 编著 出版时间：2015年版丛编项： 现代机电一体化技术丛书内容简介　　本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加...