MEMS集成设计技术及应用作　者： 苑伟政，谢建兵，焦文龙 著出版时间： 2014丛编项： MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书内容简介《MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用》首先在简要介绍MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论...

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