微装配与MEMS仿真导论出版时间:2011年版内容简介 《微装配与mems仿真导论》较为细致地叙述了微装配的基本过程和mems建模仿真的一些常用方法,对于mems基本知识和微加工工艺部分,作了简要叙述。《微装配与mems仿真导论》主要介绍微装配技术与微装配系统、mems系统建模与库的建立和宏建模的若干种常用方法,同时,对虚拟化实现的相关技术和实现方案给出了概念性描述。《微装配与mems仿真导论》共...