微纳尺度制造工程（第三版 英文版）出版时间：2010年版内容简介　　《微纳尺度制造工程（第3版）（英文版）》是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。《微纳尺度制造工程（第3版）（英文版）》系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气...