半导体化合物光电器件检测
作者：许并社 主编
出版时间：2013年版
内容简介
　　本系列丛书共分《半导体化合物光电原理》、《半导体化合物光电器件制备》、《半导体化合物光电器件检测》三部。从ⅢA～ⅤA族半导体化合物的基本原理、光电器件制备与工艺，以及器件性能检测等方面，较系统地介绍了相关基础知识，适合材料，物理化学，光学，微电子学与固体电子学等专业的本科和研究生以及工程技术人员和企业相关人员阅读。
目录
第1章透射电子显微镜1
1?1透射电子显微镜的结构与成像原理2
1?1?1电磁透镜3
1?1?2照明系统5
1?1?3成像系统8
1?1?4观察记录、真空与供电系统10
1?1?5主要部件的结构和工作原理11
1?1?6目前常用电镜的生产厂家、型号及性能13
1?2TEM样品制备技术15
1?2?1概述15
1?2?2非金属材料薄膜样品的制备17
1?3透射电子显微镜电子的成像原理20
1?3?1成像操作21
1?3?2高分辨电子显微像25
1?3?3电子衍射谱30
1?3?4电子衍射花样的标定42
1?4透射电子显微镜在LED方面的应用45
1?4?1高分辨透射电子显微像及选区电子衍射花样成像46
1?4?2界面的失配位错、堆垛层错46
1?4?3明场像47
参考文献48
第2章扫描电子显微镜49
2?1扫描电子显微镜50
2?1?1电子光学系统50
2?1?2信号检测放大系统51
2?1?3显示系统52
2?1?4真空系统52
2?1?5电源系统52
2?2扫描电子显微镜成像原理53
2?2?1扫描电子显微镜中的信号种类53
2?2?2扫描电子显微镜的成像原理56
2?2?3扫描电子显微镜像形成衬度原理57
2?2?4扫描电子显微镜的主要性能63
2?3扫描电子显微镜的样品制备66
2?4扫描电子显微镜的性能和特点66
2?5扫描电子显微镜的能谱仪67
2?6扫描电子显微镜在LED中的应用67
参考文献70
第3章原子力显微镜71
3?1原子力显微镜的主要构件71
3?2原子力显微镜的结构73
3?2?1力检测部分73
3?2?2位置检测部分73
3?2?3反馈系统73
3?3原子力显微镜的原理及工作模式74
3?3?1原子力显微镜的原理74
3?3?2原子力显微镜的工作模式76
3?4原子力显微镜的分辨率79
3?5原子力显微镜的工作环境80
3?6激光检测原子力显微镜81
3?7原子力显微镜的功能81
3?8原子力显微镜样品的要求82
3?9原子力显微镜在LED方面的应用82
参考文献85
第4章薄膜X射线衍射87
4?1X射线衍射基本理论87
4?1?1发展和特点87
4?1?2X射线的产生88
4?1?3X射线谱89
4?1?4X射线衍射原理90
4?1?5X射线衍射实验98
4?1?6X射线衍射分析基本应用105
4?2薄膜X射线衍射108
4?2?1原理109
4?2?2应用实例130
4?3D8?DISCOVER型高分辨X射线衍射仪143
4?3?1仪器构造和原理144
4?3?2仪器功能与操作150
参考文献161
第5章光致发光和电致发光162
5?1光致发光的理论基础163
5?1?1光致发光基本概念163
5?1?2辐射发光寿命和效率164
5?1?3半导体材料中的辐射复合166
5?1?4光致荧光谱173
5?2光致发光测试系统和样品180
5?2?1系统工作原理和构造180
5?2?2测试样品182
5?2?3光谱校正182
5?3光致荧光谱测试的应用和实例183
5?3?1杂质及其浓度的测量183
5?3?2化合物组分的测量185
5?3?3成分均匀性的测量185
5?3?4位错的测量和表征186
5?3?5晶体质量的表征187
5?3?6纳米半导体材料的测量188
5?4电致发光191
5?4?1电致发光的激发条件191
5?4?2光谱的测量192
5?5发光效率及其测量方法192
5?5?1光致发光材料的发光效率以及测量方法192
5?5?2电致发光效率的测量195
参考文献197
第6章霍尔效应199
6?1基本理论199
6?1?1霍尔效应的基本原理199
6?1?2范德堡测试技术202
6?2霍尔效应的测试系统203
6?2?1霍尔效应测试仪的结构203
6?2?2霍尔效应仪的灵敏度205
6?3霍尔效应测试205
6?3?1霍尔效应测试的样品要求205
6?3?2霍尔效应测试的测准条件207
6?3?3霍尔效应测试步骤208
6?4霍尔效应测试的应用和实例209
6?4?1硅的杂质补偿度测量209
6?4?2ZnO的载流子浓度、迁移率和补偿度测量211
6?4?3硅超浅结中载流子浓度的深度分布测量212
参考文献214
第7章LED光电性能测试215
7?1LED发光器件基本参数215
7?1?1LED发光器件的光度学参数215
7?1?2LED发光器件色度学参数217
7?1?3LED发光器件的电性参数221
7?2LED外延片的测试223
7?2?1光致发光谱测试223
7?2?2电致发光谱测试226
7?3LED芯片的测试229
7?3?1光学参数测试229
7?3?2色度参数测量238
7?3?3电学性能测试242
7?3?4测量结果及分析248
参考文献249
第8章太阳电池测试250
8?1太阳模拟器250
8?1?1概述250
8?1?2太阳辐射的基本特性250
8?2单体太阳电池测试251
8?2?1测试项目252
8?2?2电性能测试的一般规定252
8?2?3测量仪器与装置252
8?2?4基本测试方法253
8?2?5从非标准测试条件换算到标准测试条件253
8?2?6室外阳光下测试253
8?2?7太阳电池内部串联电阻的测量254
8?2?8太阳电池电流和电压温度系数的测量254
8?3非晶硅太阳电池电性能测试须知255
8?3?1校准辐照度255
8?3?2光源255
8?3?3光谱响应255
8?4太阳电流组件测试和环境试验方法255
8?4?1测试项目255
8?4?2组件电性能参数测量中所需的参考组件255
8?4?3太阳电池组件测试方法256
8?5地面用硅太阳电池组件环境试验概况256
8?5?1温度交变257
8?5?2高温贮存257
8?5?3低温贮存257
8?5?4恒定湿热贮存257
8?5?5振动、冲击257
8?5?6盐雾试验257
8?5?7冰雹试验257
8?5?8地面太阳光辐照试验257
8?5?9扭弯试验258
参考文献258



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