微机电系统（MEMS）制造技术作　者： 苑伟政，乔大勇 著出版时间： 2014丛编项： 微纳制造的基础研究学术著作丛书内容简介《微纳制造的基础研究学术著作丛书：微机电系统（MEMS）制造技术》主要论述微机电系统（MEMS）制造技术，全书共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势；第2章介绍MEMS制造的材料基础；第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术；第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术；...

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