国际信息工程先进技术译丛 微光学和纳米光学制造技术 高清晰可复制文字版作者：（美）Shanalyn A. Kemme 著出版时间：2012内容简介　　《微光学和纳米光学制造技术》详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造...

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